檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Nanoimprint Lithography".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="葉秉慧"
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氮化鎵材料生長在藍寶石基板難以劈裂,本論文研究以非劈裂式方法製作邊射型雷射共振腔反射面,用黃光微影與乾式蝕刻定義出共振腔的區域,並以奈米壓印微影技術取代電子束微影技術製作氮化鎵分佈回饋式雷射的光柵結…
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熱壓式奈米壓印微影技術僅需先使用電子束微影技術製作出所需要的模具,即可以快速且重複使用製作出奈米等級的結構,如此一來,可以省去傳統技術用來製作光柵所花費的較長時間與昂貴的設備成本。 本論文以熱壓式奈…